該真空壓力計(jì)測(cè)量由非常薄的金屬膜和附著電極制成的稱為隔膜的檢測(cè)器之間的靜電容量變化所給出的壓力。高零點(diǎn)穩(wěn)定性和寬動(dòng)態(tài)測(cè)量范圍為其基本特征，同時(shí)具有耐腐蝕性氣體的特性。 由于測(cè)量范圍可根據(jù)傳感器的組合而變化，因此應(yīng)根據(jù)目的來(lái)選擇型號(hào)。